技术编号:14686667
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路器件制作技术领域,尤其涉及一种MOM电容及集成电路。背景技术集成电路(IC)通常包括各种无源器件,电容器是在各种应用中广泛用于IC的一种常见的无源器件。现有技术中常用的两种电容器结构是MIM(metal insulator metal,金属-绝缘层-金属)电容器和MOM(metal oxide metal,金属-氧化物-金属)电容器。通常,MIM电容器包括加在两层金属之间的绝缘体,而MOM电容由在许多金属层上形成的大量平行的“指状物”或电极组成。在MIM电容器中,由于底板将顶板...
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