技术编号:1469372
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子工业中工艺化学剂输送领域和需要高纯度化学剂输送的其它用途。更准确地说,本发明涉及用于清洗工艺化学剂输送管线、容器和相关装置的装置和方法,特别是在所述工艺化学剂输送管线中工艺化学剂或工艺化学剂容器更换期间的清洗装置和方法。工艺化学剂管线的排空和气体吹洗已用来从输送管线中除去残余的化学剂。真空抽吸和惰性气体吹洗在快速除去高挥发性化学剂方面均是非常成功的,但对于低挥发性化学剂来说并不太有效。当萃取高毒性物质时安全将是一个问题。利用溶剂除去残余化学剂...
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