技术编号：14694347
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于加热旋转台技术领域，特别是涉及多晶铸锭用坩埚喷涂加热旋转台。背景技术在太阳能电池制作技术领域，制作硅晶锭的坩埚是常用的设备，坩埚的加热控制对形成晶锭的质量尤为重要。但是，现有的坩埚的底面与侧面共用一个加热控制方式，控制方式不灵活，加热不均匀，功率小，温度低，不能满足喷涂不同氮化硅粉的温度要求。坩埚侧板之间的锁紧装置不牢，形同虚设，侧面贴合不紧密，导致温度不均匀。由于坩埚的大小有很多尺寸，从而每一种尺寸的坩埚都需要一种坩埚加热旋转台，导致需要购买适合不同坩埚尺寸的加热旋转台，设备的占...
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