技术编号：14703429
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶炉热场器件技术领域，尤其涉及一种单晶炉三瓣坩埚抗老化保护装置。背景技术石墨坩埚使单晶炉热场中重要的组成器件，现有石墨坩埚多被打造成2~3个单体结构，以便于拆装清洗和降低制造成本，目前较多采用的是三瓣坩埚。由于石墨坩埚距离硅料和加热器较近，在拉晶过程中，保护气体热气流不可避免的自三瓣坩埚单体接缝处穿透，加速埚体老化，缩短使用寿命，导致生产成本的提高。现有解决技术方案中，采用贴设封条的方式对接缝进行封闭，虽具有较好的隔离气流的效果，但由于单晶硅结晶要求较高的清洁度，而粘合剂在高温下...
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