技术编号:14703439
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉设备,特别涉及一种多晶硅铸锭炉水冷铜盘组件中水冷铜管的防护结构。背景技术多晶硅铸锭炉在生产过程中一旦发生漏硅现象而没有及时发现的话,漏硅会聚集在弧形的炉体底部。而通常水冷铜盘组件中的进出水铜管会安装在炉体底部,很容易被高温漏硅熔穿。水冷系统被破坏将影响整个生产过程,并可能造成生产事故。因此,需要在进出水水冷铜管与炉体底部密封座处增加漏硅防护结构,一旦发生漏硅现象,通过防护结构将硅液与水冷铜盘铜管隔离,同时设备发出报警信号,操作人员采取措施将漏硅清理,最大程度的防止漏...
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