技术编号:1471036
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开一种中大尺寸蓝宝石晶圆图案化制程蚀刻后清洗装置,由电机、真空吸附台和顶部喷头组成,真空吸附台安装在电机的输出端,真空吸附台中形成通气道,通气道的下端接气源,真空吸附台上对应蓝宝石晶圆的底面开设一圈出气孔与通气道的上端连接,顶部喷头安装在真空吸附台上方。本实用新型可以避免交叉污染的现象,达到清洗的效果,进而提高了后续图案化制程及MOCVD制程的成品率及良率。专利说明一种中大尺寸蓝宝石晶圆图案化制程蚀刻后清洗装置 [0001]本实用新型涉及...
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