技术编号:14710545
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池片制备设备技术领域,特别是涉及一种太阳能电池片减反射膜制备设备的压力计对比验证装置。背景技术在太阳能电池片的制备过程中,通常需要对电池片发射结面进行镀光学减反射膜。目前,氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池片的光学减反射膜,同时也起到电池片表面钝化和体内钝化的作用,以提高太阳能电池的转换效率。目前,制备氮化硅薄膜,一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法,配套采用德国的PECVD设备。在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中,为了保护微波系统内部真空值的真实有效...
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