技术编号：1471596
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。更具体地说，本发明涉及清洗用于制造晶片或平板显示装置的基材的设备和方法。背景技术 最近，随着对多种功能和更高数据处理速度的需求，数据处理设备正在迅速发展。这种数据处理设备具有显示操作信息的显示面板。常规阴极射线管监视器广泛地应用于显示面板，然而由于技术的飞速发展，比如LCD等重量轻、占用空间少的平板显示器的用途正在迅速增加。制造平板显示器需要多种操作。在这些不同操作中，清洗操作是用来清洗比如附着在基材上的颗粒等污物。通过将比如薄层晶体管等元件的...
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