技术编号:14717489
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及动力驱动设备技术领域,尤其涉及一种含有液体传动的复合压电和静电驱动振膜驱动器。背景技术微型驱动器是流体设备中的动力源,常见的驱动器例如压缩机或泵,它们都属于动力循环系统中的核心部件。微型驱动器的市场需求很大,通过微型驱动器有利于实现系统的微型化,使系统更加紧凑,响应速度快,并且具有较高的控制精度,目前微信驱动器已广泛应用于医药、化工、航天以及电子冷却等领域。目前微型驱动器的驱动方式主要包括压电驱动、静电驱动、电磁驱动、热气动驱动以及记忆合金等。从可靠性和响应速度来看,压电和静电驱动具有...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。