技术编号：14717490
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种双定子固定式压电惯性驱动器及其驱动方法，属于微纳精密驱动与定位技术领域。背景技术由于微纳米科技的迅速发展，传统的宏观大尺寸驱动装置，如普通电机、齿轮传动、丝杠螺母、蜗轮蜗杆等已很难满足现代科技的精度要求。各类精密超精密加工与测量技术、微机电系统、精密光学、半导体制造、现代医学与生物遗传工程、航空航天、机器人、军事技术等高尖端的科学技术领域都迫切需要亚微米级、微纳米级的精密驱动马达。压电材料逆压电效应的发现及具有优越性能的压电陶瓷材料的出现使得压电精密马达的研究得到了广泛关注，并在精...
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