技术编号：14721102
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空阀。背景技术在将涡轮(turbo)分子泵等真空泵安装于真空处理装置的真空腔室(chamber)的情况下，一般来说插入真空阀。有的真空阀具备开口部及阀片(valveplate)。此种真空阀中，有如下情况：使阀片的开度变化，使开口部不与阀片相向地打开的区域(打开区域)的面积(打开面积)变化，由此使真空阀的流导(conductance)变化，而用于真空腔室内的压力控制。真空阀中，开口部的剖面形状一般来说呈圆形，而且，此种真空阀的阀片的边缘部的形状一般来说呈圆弧状。在具有此种形状的开口...
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