技术编号：14723315
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种PCB(印刷电路板)基板、半导体晶片或显示面板(DisplayPanel)曝光用光源装置，涉及包括多个光源单元的光源装置及能够有效地管理该光源装置的管理系统，其中，光源单元将LED(LightEmittingDiode，发光二极管)作为光源。背景技术在PCB基板、半导体晶片或显示面板的制造工序中，执行选择性地去除涂覆于晶片及基板的表面的PR(光刻胶)等的曝光作业。虽然过去使用了超高压水银灯、卤素灯而作为用于曝光的光源，但这些灯光源发生使用寿命问题、高电压问题、费用问题、环境问题。因...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。