技术编号:14724482
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电阻的匹配调整方法,特别是一种适用于矿井安全检测中使用的 MEMS甲烷传感器电阻的匹配调整方法。背景技术在之前发明专利中,基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法与应用 (2014106070934)、全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法 (2014106070313)、一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法(201410606852.5)、一种基于单个加热元件的甲烷传感器及其制备方法和应用(2014106059954)所制备的 MEMS甲烷传感器都具有成本低、灵敏...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。