光罩存储装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14735580

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本发明涉及显示面板制造技术领域,尤其涉及一种光罩存储装置。背景技术在液晶显示面板的TFT阵列和彩色滤光片的生产过程中,通常需要利用光罩进行曝光处理。在显示面板生产产线中有专用的用于存储光罩的装置,光罩在使用后需要将其搬运至存储装置中进行存储,以便下次继续使用。在存储过程中,需要对光罩的搬运过程进行监控,现有的监控方法比较复杂,而且智能化程度比较低,在监控过程中经常造成设备停机,给光罩的搬运造成很大的风险。发明内容为了解决现有技术的不足,本发明提供一种光罩存储装置,能够自动对光罩的搬运过程进行监控...
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