技术编号:1473563
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种多晶硅片清洗机自动提篮装置,属于硅片清洗。本多晶硅片清洗机自动提篮装置包括支架、提篮箱体和立柱,立柱竖直设置,在立柱一侧面开有竖直的滑槽,支架一端嵌于滑槽内且能沿着立柱上下滑动,支架的另一端固连有提篮箱体,滑槽内设有自由转动的丝杆且丝杆与支架螺纹连接,丝杆转动带动支架上下升降,立柱顶部固定有带动丝杆转动的电机,提篮箱体呈中空的长方体状,上端面与支架焊接固连,提篮箱体的两侧端面上设有可相对提篮箱体摆动的挂钩组件,提篮箱体内顶部固定有气缸,...
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