技术编号:14736964
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半自动补蜡装置,属于晶片加工技术领域。背景技术目前蓝宝石衬底加工过程中,通常在单面研磨和单面抛光之前采取自动上蜡装置对蓝宝石进行贴蜡加工,目的在于提高晶片平面度质量,但此种方式也带来了一些列问题,在加工过程中,高精度自动贴蜡方式容易造成外界颗粒等小异物污染,造成贴片后不平坦现象,平面度质量下降,由于上蜡设备构造原理(自动贴蜡设备需整盘进行加工),需要将晶片全部取下,然后进行重新贴蜡加工,造成成本和效率等方面不同程度的损失。实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有自动上蜡装置无法对晶...
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