一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法与流程技术资料下载

技术编号:14750698

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本发明涉及光学零件薄膜制造技术领域,具体涉及一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法。背景技术为减小光电产品体积,减轻产品重量,在光学系统中广泛使用折转反射镜。由于中波红外光学系统中折转反射镜反射带宽宽,采用传统多层介质膜存在层数多,膜层厚,沉积工艺复杂的问题;而通常采用金属反射膜,则存在铝、银和金等金属反射膜材料较软,容易破坏的问题,所以在金属膜需要外面再镀一层保护膜;单一的保护膜提高了金属反射膜的环境可靠性,但会降低金属膜的反射率。综合考虑金属膜和多层介质膜各自特性,有研究提出在金属膜表面镀...
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