技术编号：14752090
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机械传感器领域，尤其涉及一种微壳体振动陀螺及其制备方法。背景技术陀螺仪是测量载体相对惯性空间旋转运动的传感器，是运动测量、惯性导航、制导控制等领域的核心器件，在航空航天、智能机器人、制导弹药等高端工业装备和精确打击武器中具有非常重要的应用价值。目前，基于微机械加工技术可在圆片上实现传感器的批量加工，实现了体积小、成本低、功耗小的微陀螺仪的加工。经过这些年的发展，MEMS陀螺仪的精度已达速率级别，在汽车和消费电子领域有着广泛的应用（在50Hz的带宽内分辨率大概为0.1˚/s）。然而，对...
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