技术编号:14765634
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片工艺设备技术领域,具体为一种硅片快速风干槽。背景技术太阳能能源已经成为新能源的热点及重点领域,太阳能作为清洁、环保的可再生能源,改变着人类能源结构方式。随着太阳能的广泛应用,太阳能硅片开始批量生产,对硅片生产每道工序的效率与质量的要求越来越高,硅片清洗后的风干效率与风干质量直接影响下一道工序。提高风干的生产效率与生产质量非常有必要。实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种硅片快速风干槽,可以快速对清洗完成后的硅片进行风干处理,给硅片的风干使用带来了便利,...
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