技术编号：14769337
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种电池片翻片装置。背景技术对于异质结太阳能电池硅片的镀膜工艺，通常会用到PVD、CVD等真空镀膜设备，在对硅片进行双面镀膜过程中，需要硅片在镀膜设备中完成单面镀膜后，进行一次硅片翻转，然后再次进入镀膜设备进行另外一面镀膜。在现有技术中，硅片通过人工或自动装载的方式敷设在载板上，载板通过自动传输机构通过上料台传入工艺腔室，以进行硅片的正面镀膜，正面镀膜完成后从工艺腔室传输到下料台；在下料台进行人工手动翻片，或者使硅片经过自动下料台收集至硅片料盒，待硅片料...
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