技术编号:14770560
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学仪器技术领域,具体涉及一种多通道集成滤光片光隔离结构的制造方法。背景技术在对地遥感和观察卫星上使用的光学成像系统,由于其高可靠性要求和苛刻的体积要求,在光路中常常采用多通道集成滤光片来实现不同波长光的分离。多通道集成滤光片是将若干个通道的窄带滤光片通过特殊的多道工艺依次制备在同一块基片上形成的。通道间的隔离就要使用光隔离结构,以实现对通道间的空白区域涂黑,阻止光线通过空白区,避免引起通道间信号的串扰;同时光隔离结构又要使得入射光线的剩余反射尽可能地小,以免剩余反射的光线经过多次反射...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。