技术编号:1478524
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板固定盘的清洗单元、清洗装置及清洗方法,尤其涉及用于清除基板固定盘上表面的杂质的,该基板固定盘用于固定基板以进行在基板上涂敷光刻胶等多种基板处理作业。背景技术 通常,在基板上涂敷光刻胶的方法包含将光刻胶承载于圆柱形滚子的外部之后在基板上沿一定方向滚动所述滚子而涂敷光刻胶的滚涂方法;在圆板支撑体上放置基板并向所述基板的中央滴落光刻胶之后进行旋转,由此根据离心力在基板上涂敷光刻胶的旋涂方法;通过狭缝形态的喷嘴将光刻胶喷到基板,同时沿一定方向扫过...
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