技术编号:14785309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种氧化物薄膜晶体管的制作方法、氧化物薄膜晶体管、阵列基板。背景技术随着液晶显示装置尺寸不断增大,驱动电路的频率不断地提高,现有的非晶硅薄膜晶体管迁移率很难满足,而由于金属氧化物薄膜晶体管迁移率高,均一性好,透明,制作工艺简单,可更好地满足大尺寸液晶显示器和有源有机电致发光的需求,因而备受人们的关注。显示装置的阵列基板包括多个像素区,每个像素区均设置有薄膜晶体管,薄膜晶体管所占面积与像素区域面积之比影响了像素的开口率。为防止显示功耗过大,需要将薄膜晶体管所占面积与...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。