技术编号:1478561
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种湿式清洗设备的防清洗液流出装置,尤其涉及防止清洗液沿着湿式清洗设备的驱动轴流到清洗室外部的湿式清洗设备的防清洗液流出装置。背景技术 通常,半导体晶片或平板显示器(FPDflat panel display)基板等需要经过多种工艺才能制造,经过多种工艺时其表面难免被颗粒及污染物污染,因此为了清除污染在部分制造工艺前后进行清洗工艺。这种清洗工艺是清洁基板表面的工艺,曾公开过由药液处理工序、漂洗(rinse)工序、干燥工序组成的清洗方式,也曾公开过...
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