技术编号:1478670
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种涂布机清洁模块,特别是涉及一种光学工艺流程(photoprocess)中的涂布机喷嘴清洁装置,在工艺流程中清洁涂布机喷嘴。背景技术 显示器制作流程中光刻胶涂布机台(slit coater)普遍存在凝胶(gel)的问题,当喷嘴(nozzle)尖端处于不清洁的状况下作涂布会形成缺陷(defect),并严重影响产品成品率。一般在进行每片产品的光刻胶涂布前,会使用橡胶(rubber)作为喷嘴尖端的清洁材料,然而由于橡胶的精度无法与喷嘴完全吻合,因此无...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。