技术编号:14797507
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学测量领域,涉及透镜波前的测量,尤其是一种光学透镜测量方法。背景技术光学自由曲面整个制造流程包含了设计、精密加工、精密测量等环节,整个制造环节都对加工精度有极高的要求。表面粗糙度一般要达到纳米甚至亚纳米级,形状精度需要达到微米至亚微米级。因此,对加工出的自由曲面透镜进行检测以判断其是否符合使用要求是该领域的关键问题。要测量透镜的光学性能,需要对它的波前进行测量。透镜波前测量方法大体可以分为两类,第一类测量方法直接测量透镜的波前,如泰曼格林干涉仪、菲佐干涉仪等。干涉仪测量方法分辨率、测...
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