技术编号：14814421
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及感测工业过程的过程变量。更具体地，本实用新型涉及感测在这样的工业过程中使用的过程流体的压力。背景技术压力传感器用于测量压力。一种用于测量压力的技术是通过一个可偏转的膜片。对膜片的一侧施加压力，使膜片偏转。膜片的偏转与所施加的压力成正比。膜片偏转可以通过配置膜片以使其充当电容器的板来测量。膜片组件的电容根据膜片位置而变化。因此，电容可以与膜片位置相关，膜片位置又代表施加到膜片的压力。压力传感器经常在恶劣的环境中运行。这种环境会导致高精度的压力传感器的失效，而这些压力传感器往往是易坏的...
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