技术编号:14818570
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石墨烯芯片加工技术领域,具体涉及一种石墨烯芯片加工用装置。背景技术石墨烯芯片,美国IBM公司的科学家研制出了首款由石墨烯圆片制成的集成电路,向开发石墨烯计算机芯片前进了一步,科学家们认为这项突破可用石墨烯圆片来替代硅晶片,这块集成电路建立在一块碳化硅上,并且由一些石墨烯场效应晶体管组成。现有的石墨烯芯片制备工艺包括硅提纯、切割硅锭、影印、蚀刻、重复分层、封装等六大步骤,其中在硅提纯前,需要先将原料硅锭清洗后才可以进行硅提纯。如中国专利公开号为CN205008303U的文献公开了一种多晶...
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