技术编号：14825094
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及膜片截止阀技术领域，尤其涉及一种膜片截止阀及其制造方法。背景技术在微流控领域(尤其是MEMS微阀领域)中，截止阀已逐渐开始配合着微泵结构投入应用，以实现流体分流和流体控制。现有的截止阀都体积巨大，无法满足微流体微米级的尺寸需求和精细控制，使用不方便，制造成本高，加工效率低。发明内容本发明的一个目的在于提出一种小型化、可以实现全系统集成的膜片截止阀。本发明的另一个目的在于提出一种工艺步骤简明、制造成本低的膜片截止阀的制造方法。为达此目的，一方面，本发明采用以下技术方案：一种膜片截止阀，包...
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