技术编号：14825098
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及一种封装的形成方法。背景技术微机电系统(micro-electro-mechanical system，MEMS)装置(例如加速计、压力传感器及陀螺仪)在现代的许多电子装置中已得到广泛使用。举例来说，微机电系统加速计常见于汽车中(例如，安全气囊展开系统中)、平板计算机中、或智能电话中。对于许多应用，微机电系统装置被电连接到专用集成电路(application-specific integrated circuit，ASIC)，以形成完整的微机电系统。发明内容本发明实施例的一种封装...
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