技术编号:1485143
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及液晶显示,尤其涉及阵列基板边缘光刻胶的去 除装置。背景技术目前,薄膜晶体管液晶显示器TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)在生产中大体分为阵列、成盒、才莫块三大工序,而在阵列工 序中又大体分为沉积、光刻、蚀刻三大工艺。其中,阵列工序中有一道工序 是在玻璃上涂光刻胶(photoresist, PR); PR胶是一种感光后,化学性质会改 变的红色粘稠物。玻璃基板高速旋转,将PR胶...
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