技术编号:14859748
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及石墨舟片技术领域,特别涉及到一种新型结构的石墨舟片。背景技术晶体硅太阳电池片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜,其作用是在硅片上沉积一层介质薄膜,一般是氮化硅薄膜,提高硅片的太阳能转化率。这个工序用石墨舟装载硅片。把硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反应,在硅片表面沉积上一层薄膜。石墨舟作为硅片沉积介质薄膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率,其工作原理为:将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上,每个石墨舟片上可放固定数量的硅片,然后将石墨舟放置在PE...
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