技术编号：14869673
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种控制阀模块与监控系统，且特别是涉及一种控制阀模块与使用此控制阀模块的测漏监控系统。背景技术在半导体制作工艺中，大多会利用化学溶液或气体来清洗或平坦化半导体元件，其中化学溶液或气体通常是通过管路系统输送至清洗或平坦化半导体元件的站位，且管路系统上设置有控制阀模块，用以导通或阻断管路。一般来说，控制阀模块是由控制阀组件、连通管件以及固定螺杆组合而成，其中固定螺杆穿过控制阀组件与连通管件以固定前述两者，进而防止化学溶液或气体泄漏至外界。然而，穿过控制阀组件与连通管件的内部的固定螺杆可能会...
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