技术编号:14882690
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及测量技术领域,尤其涉及ICP尾气处理系统除结晶装置。背景技术ICP尾气对环境造成一定的影响,传统的ICP尾气处理系统为达到处理效果都是在运行中持续不断的往里面通入纯水,这种处理会造成水的大量浪费,当前,通过通入三氯化硼气体,利用三氯化硼溶于水会使pH值降低的特性,来控制通入纯水的量,解决了浪费水的问题,但此种方法存在一个困扰,三氯化硼在温度低于40度就会产生结晶并堵塞管道,而且人工清理费时费力,影响尾气处理。发明内容发明目的:本实用新型所要解决的ICP尾气处理系统三氯化硼产生结晶堵...
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