技术编号:14895925
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种传感器,特别是涉及一种带自保护的电容式压力传感器。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种带自保护的电容式压力传感器,其受到高负载压力的保护,防止损坏。本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种带自保护的电容式压力传感器,其特征在于,其包括顶部电极硅片、中心电极硅片、下电极硅片、二氧化硅绝缘层、质量块、压力传递孔、压力通孔、硅膜、第一铝层、第二铝层、第三铝层,中心电极硅片位于顶部电极硅片和下电极硅片之间,压力传递孔位于中心电极硅片的中间,两层二氧化硅绝缘层分别位于中心电极...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。