一种用于压力传感器的隔离自保护接口的制作方法技术资料下载

技术编号:14895933

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本发明属于传感器设计技术,涉及一种用于压力传感器的隔离自保护接口。背景技术现有压力传感器的压力接口采用直入式结构,如图1所示,传感器压力敏感器件或压力传递薄膜直接面对压力入口,使压力敏感器件或压力传递薄膜直接暴露在外界环境中。传感器在安装、测试、使用过程中测量介质中颗粒物杂质、灰尘等会逐渐沉积在敏感芯体或压力传递薄膜,或尖锐物进入压力接口时,常使传感器性能下降、压力敏感芯体损害或压力传递薄膜破损,致使传感器的失效;并且由于敏感芯体直接面对压力接口,对外通路的存在,敏感体容易受到外界的电磁场的打扰...
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