技术编号:14896372
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于气体折射率测量技术领域,具体涉及一种基于激光干涉技术和可变腔长真空腔的大量程气体折射率实时测量系统。背景技术气体折射率是各类光学系统设计中特别关注的一个物理量,气体折射率的准确测量是开展光学精密测量的基础。在精密制造等需要高精度光学测量的领域中,气体折射率的实时测量是现场对高精度光学测量仪器开展误差补偿工作的有效途径,是提高光学测量仪器测量精度的重要手段之一。目前,常见的气体折射率测量方法可分为两类:间接测量法和直接测量法。间接测量法也称为经验公式法,主要是通过测量环境的温度、湿度、压...
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