技术编号:14908903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学精密测量领域,特别涉及一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统及方法。背景技术柱状光学元件(如圆柱透镜)能够在一维方向改变成像尺寸大小,例如可以把一个点光斑转换成一条线光斑,或者在不改变像宽度的情况下改变像的高度。这一特点使其在波前整形、条形码扫描、光片照明显微镜以及线扫描显微镜等光学系统中不可或缺。特别是在强激光系统、同步辐射装置、卫星制导及导航系统中,柱状光学元件发挥着关键性作用。非圆柱面(如椭圆柱、抛物柱面等)比圆柱面在设计时引入了更多的参数,使其能够矫正像差、改善像质,...
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