技术编号：14923637
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体光刻机照明装备技术领域，涉及一种光刻机照明控制测试系统及方法。背景技术集成电路是信息技术的核心，其发展主要依赖于半导体专用设备。光刻机是集成电路芯片制造的关键设备，曝光分系统是光刻机设备的核心分系统之一，而照明系统则是曝光分系统两个子系统之一(另一个为投影物镜)。照明系统组成单元众多，控制和性能测试非常复杂。照明系统的主要功能包括：1)在掩模面产生均匀的照明光场；2)对输入光束进行变换产生需求的照明模式，比如传统照明、环形照明、二极照明和四极照明等；3)参与实现曝光剂量控制。通常...
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