技术编号：1492908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种清除微粒的装置，特别涉及一种在电子半导体行业中产 品表面微粒外物的清除装置。背景技术随着科技的进步，各式各样的电子产品已经深入你我的生活之中，而 这些电子产品的内部，大部分为半导体晶片。特别是近几年来，由于半导 体产业的迅速发展，使得集成电路的制造朝较大的芯片，且较小的线宽来 进行，以达到相同大小的集成电路功能加强，且降低其单位使用的成本。 但半导体器件，尤其是高密度的集成电路，易受到各种污染的损害。在半导 体组件制作过程中，许多从管壁、阀件...
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