技术编号:14939930
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超精密检测技术领域,具体涉及一种超精密检测用平台。背景技术在超精密检测技术领域中,对零件的尺寸和表面平整度进行检测时,通常将零件放置在滑台上,由动力驱动装置驱动滑动平台滑动,在滑动过程中,滑动平台带动零件经过非接触式传感器,从而实现对零件垂直于滑动平台上的尺寸和表面平整度的检测。因此,为了实现精确测量,被检测的物体在运动过程中,位置要尽可能地稳定。如果滑动平台在运动过程中,位置不稳定,上下跳动,运动轨迹的直线度或者平整度不好,滑动平台在竖直方向上的位移会通过零件传递给传感器,最终导致零...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。