技术编号:14940124
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于测试技术领域,具体涉及一种表面微粒分析仪及其测试方法。背景技术随着高科技工业的快速发展,污染物检测和量化要求现已变得很重要。例如,食品药品包装材料,医用无菌袋加工,精密微电子制造等均需对样品表面进行微粒检测,控制污染物含量及产品标准。同时为了控制生产过程中重要阶段的污染程度并将其最小化,经常采用“净室”。净室中规定并控制了其中的空气过滤、空气分布、公用设施、建筑材料、设备和操作过程,用以控制空气中粒子的浓度,使其满足适当空气中粒子清洁度等级。现有技术中通常采用如下方法及设备进行样品的表...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。