技术编号：14942077
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子信息材料与元器件领域，具体涉及一种通过氟表面掺杂改善氧化物半导体基光电探测器性能的方法及得到的光电探测器，可用于光电探测领域。背景技术近年来，光电探测技术受到了越来越多的关注，应用广泛，其主要包括了红外探测技术、紫外探测技术以及激光探测技术等。其中，红外探测技术可用于制备红外夜视仪和热像仪，用作远距离侦查、监视、跟踪和探测伪装等；紫外探测技术可用于燃烧过程检测、紫外泄漏检查、火灾防范以及导弹来袭预警等；激光探测技术可用于激光测距、激光雷达、激光目标指示等。光电探测器通常可分为光电倍...
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