用于形成交叉点存储器的置换材料工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:14942107

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本案是分案申请。该分案的母案是申请日为2015年03月25日、申请号为PCT/US2015/022576的国际申请进入中国后发明名称为“用于形成交叉点存储器的置换材料工艺”的第201580016818.5号发明专利申请案。技术领域本文中所揭示的标的物一般来说涉及集成电路中的装置,且明确地说,涉及形成装置阵列(例如,交叉点阵列内的存储器单元)的方法。背景技术可在大范围的电子装置中发现并入有硫属化物材料的装置(例如,双向阈值开关及相变存储元件)。这些装置可用于计算机、数码相机、蜂窝式电话、个人数字助...
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