技术编号:1494352
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微小气泡生成装置、微小气泡生成方法及基板处理装置,涉及 如生成含^f效小气泡的洗涤用液体的微小气泡生成装置及微小气泡生成方法、 使用含微小气泡的洗涤用液体来处理基板的基板处理装置。 背景技术作为一例,基板处理装置在基板制造工序中,对基板提供纯水和药液等液 体进行处理。这种基板处理装置中,需要除去基板上粘附的微粒和液体中浮 游的微粒。为了除去基板的4敖粒,专利文献l中提出了以下方案将微米气泡发生部 与基板处理装置连接,从微小气泡发生,向处理槽内的基...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。