技术编号：14946031
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于微机械传感器设备的制造方法和一种相应的微机械传感器设备。背景技术虽然也可以应用任意的微机械构件，但本发明和本发明所基于的问题参照具有基于硅的、带有加热装置(加热板)的气体传感器的构件来阐述。微加热板是用于微机械传感器的重要部件。所述微加热板在为了工作原理需要升高温度的传感器原理中使用。这里首先要提到的是具有化学传感器原理的气体传感器：所期望的化学反应在室温时并不发生，而是需要一定的活化能并且由此需要升高的运行温度。这种类型的常规传感器例如是金属氧化物-气体传感器，该金属氧化物-...
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