技术编号：14949908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电子集成技术领域，具体涉及一种宽谱光功率分束器及功率分配方法。背景技术光功率分束器件是集成光子系统中的重要单元器件之一。目前片上系统的光功率分束主要由多模干涉耦合器(Multimode Interference,MMI)实现，通过对多模干涉区域的结构设计，利用多模波导的自映像效应，可以在较小的器件尺寸下实现固定比例的光功率分束器件。传统的多模干涉耦合器通过对多模干涉区域的硅波导进行不同程度的刻蚀，改变自映像点光功率的比例从而实现功率分束功能。然而这类结构一经制作完成则光功率分束比例即...
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