技术编号:14952103
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例涉及一种存放盒(storage pod),且特别是涉及一种使用前述存放盒的颗粒检测方法。背景技术随着半导体技术不断创新,利用半导体工艺所制成的半导体芯片已被广泛地应用于各种领域中。在半导体芯片的制造过程中,运用自动化物料搬运系统(Automated Material Handling System,AMHS)及标准机械接口(Standard Mechanical Interface,SMIF)设备来进行晶片(wafer)或掩模(mask)的维护与运送,自动化物料搬运系统(AMHS)...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。