技术编号:14957216
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开内容涉及一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件、一种用于材料的蒸发的蒸发源、一种用于将材料供应到基板的沉积设备、和一种用于测量已蒸发材料的沉积率的方法。本公开内容特别涉及一种用于测量已蒸发有机材料的沉积率的测量组件及其方法。另外,本公开内容特别涉及包括有机材料于其中的装置,例如,蒸发源和用于有机材料的沉积设备。背景技术有机蒸发器为用于制造有机发光二极管(organic light-emitting diodes,OLED)的工具。OLED为发光二极管的一种特殊形式,在所述OLED中,发光...
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