技术编号:14958156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及含直线诱导的裂纹的高灵敏度传感器及其制造方法,更具体地涉及可应用于度量衡学或人造皮肤的高灵敏度传感器,这些使用形成有直线诱导的细裂纹的导电薄膜来高精度检测张力和压力。背景技术一般而言,高灵敏度传感器是感测微小信号,并将该微小信号作为现代工业中所必需的组成部分之一的数据(例如电信号)进行传递。在这些传感器中,电容传感器、压电传感器、应变计等已知是用于测量压力或张力的传感器。传统张力传感器的应变式传感器是检测机械变化作为电信号的传感器。如果它粘附到机器或结构的表面上,则可以测量微小尺寸上的...
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